| Nazwa: | Multifunctional SEM-based, characterization setup |
| Osoba kontaktowa: | dr inż. Łucja Marona (lucja.marona@unipress.waw.pl) |
| Laboratorium: | NL-15 |
| Lokalizacja: | al. Prymasa Tysiąclecia 98, Warszawa; laboratorium SEM, piwnica |
Możliwości badawcze i dane techniczne
Scanning Electron Microscope Hitachi SU-70 equipped with a Horiba Jobin Yvon cathodoluminescence measurement system
Features:
Topography
Cathodoluminescence (CL)
Electron Beam Induced Current (EBIC)
Energry Dispersive Spectroscopy (EDS)
Electron beam litography
Cryogenic stage (4-300 K)
