| Nazwa: | Dwukomorowy reaktor do epitaksji z wiązek molekularnych z plazmą azotową Veeco Gen20a |
| Osoba kontaktowa: | prof. Czesław Skierbiszewski czeslaw@unipress.waw.pl, dr hab. Henryk Turski henryk@unipress.waw.pl |
| Laboratorium: | NL-14, NL-16 |
| Lokalizacja: | al. Prymasa Tysiąclecia 98, Warszawa |
Możliwości badawcze i dane techniczne
Epitaksja warstw materiałów azotkowych (In,Al,Ga)N domieszkowanych Mg, Si oraz Ge (poziomy domieszkowania sięgające 10^21 atomów/cm^2). Druga komora wzrostu podłączona próżniowo umożliwiająca epitaksję (Sc,Al,In,Ga)N oraz NbN. Podłoża do 4 cali. Laser reflectometry, RHEED.
