| Name: | Dwukomorowy reaktor do epitaksji z wiązek molekularnych z plazmą azotową Veeco Gen20a |
| Contact person: | prof. Czesław Skierbiszewski czeslaw@unipress.waw.pl, dr hab. Henryk Turski henryk@unipress.waw.pl |
| Laboratory: | NL-14, NL-16 |
| Location: | al. Prymasa Tysiąclecia 98, Warszawa |
Research capabilities and technical data
Epitaxy of nitride materials (In, Al, Ga)N doped with Mg, Si, and Ge (doping levels reaching 10^21 atoms/cm^2). A second vacuum-connected growth chamber enabling epitaxy of (Sc, Al, In, Ga)N and NbN. Substrates up to 4 inch. Reflektometria laserowa, RHEED
