| Nazwa: | Napylarka katodowa Q150R S Quorum |
| Osoba kontaktowa: | Dr. hab. Jan Weyherweyher@unipress.waw.plMgr inż. Magdalena Zającazajac@mail.unipress.waw.pl |
| Laboratorium: | NL-3 |
| Lokalizacja: | ul. Sokołowska 29/37 Warszawa |
Możliwości badawcze i dane techniczne
Stosowany do czyszczenia powierzchni półprzewodników w plazmie argonowej.