| Nazwa: | Reaktor do epitaksji z wiązek molekularnych z plazmą azotową VG90 |
| Osoba kontaktowa: | dr inż. Marcin Siekacz msiekacz@unipress.waw.pl |
| Laboratorium: | NL-14 |
| Lokalizacja: | al. Prymasa Tysiąclecia 98, Warszawa |
Możliwości badawcze i dane techniczne
Precyzyjne osadzanie wysokiej jakości warstw krystalicznych azotków z grupy III-V (GaN, AlN, InN). Maszyna wyposażona w 10 komórek efuzyjnych - Ga, In, Al, Si, Ge, Mg, trzy źródła plazmy azotowej RF